|
| MOQ: | 1 इकाई |
| कीमत: | Negotation |
| standard packaging: | लकड़ी के मामले से पैक किया |
| payment method: | टी/टी, वेस्टर्न यूनियन |
| Supply Capacity: | प्रति माह 1000 यूनिट |
अर्धचालक प्रकाश प्रतिरोधी अल्ट्रासोनिक लिथोग्राफी कोटिंग सिस्टम
विवरण:
अल्ट्रासोनिक छिड़काव फोटोलिथोग्राफी वेफर प्रसंस्करण में फोटोरेसिस्ट कोटिंग के लिए एक सरल, किफायती और पुनः प्रयोज्य प्रक्रिया है।FUNSONIC के अर्धचालक photoresist अल्ट्रासोनिक लिथोग्राफी कोटिंग प्रणाली परिष्कृत स्तर प्रौद्योगिकी का उपयोग बारीकी से प्रवाह दर को नियंत्रित करने के लिए, कोटिंग गति, और जमाव की मात्रा। कम गति स्प्रे मोल्डिंग स्प्रे को सटीक और नियंत्रित पैटर्न के रूप में परिभाषित करती है ताकि ओवरस्प्रे से बचा जा सके और बहुत पतली और समान परतें पैदा हो सकें।
FUNSONIC की अर्धचालक photoresist अल्ट्रासोनिक लिथोग्राफी कोटिंग प्रणाली में अधिक समान कोटिंग्स जमा करने के फायदे हैं,विशेष रूप से उच्च आयाम अनुपात के ग्रूव और वी के आकार के ग्रूव संरचनाओं की साइडवॉल के शीर्ष के साथकेन्द्रापसारक घूर्णन से गुहा के तल पर बहुत अधिक प्रकाश प्रतिरोध जमा किए बिना, साइडवॉल के साथ समान कोटिंग जमा नहीं हो सकती है।
पैरामीटरः
| उत्पाद का प्रकार |
अल्ट्रासोनिक प्रेसिजन स्प्रे कोटिंग मशीन प्रयोगशाला डेस्कटॉप प्रकार FS310 |
बुद्धिमान अल्ट्रासोनिक परिशुद्धता कोटिंग मशीन डेस्कटॉप प्रकार FS620 |
| छिड़काव नोजल कार्य आवृत्ति | 20-200KHz | 20-200KHz (सामान्यतः 60100110120K का प्रयोग करें) |
| नोजल शक्ति | 1-15W | 1-15W |
| निरंतर छिड़काव मात्रा अधिकतम | 0०१-५० मिलीलीटर/मिनट | 0०१-५० मिलीलीटर/मिनट |
| प्रभावी छिड़काव चौड़ाई | 2-100 मिमी | 2-100 मिमी |
| स्प्रे की एकरूपता | ≥95% | ≥95% |
| समाधान रूपांतरण दर | ≥95% | ≥95% |
| सूखी फिल्म की मोटाई | 20nm-100μm | 20nm-100μm |
| समाधान चिपचिपापन | ≤30 सीपीएस | ≤30 सीपीएस |
| तापमान सीमा | 1-60°C | 1-60°C |
| परमाणुकृत कण (औसत मूल्य) | नोजल की आवृत्ति के आधार पर निर्धारित 10-45μm (डिस्टिल पानी) | नोजल की आवृत्ति के आधार पर निर्धारित 10-45μm (डिस्टिल पानी) |
| विचलन दबाव अधिकतम | ≤0.10MPA | ≤0.15MPA |
| इनपुट वोल्ट | 220V±10%/50-60Hz | 220V±10%/50-60Hz |
| अभ्यास मोड | X+Y दो अक्ष पूर्ण स्वचालित, Z-अक्ष मैनुअल समायोजन | XYZ तीन अक्ष, स्वतंत्र रूप से प्रोग्राम करने योग्य |
| नियंत्रण मोड | माइक्रो कंप्यूटर कार्ड, 7 इंच का टच स्क्रीन+बटन | FUNSONIC छिड़काव नियंत्रण प्रणाली, पीएलसी नियंत्रण, 13.3 इंच पूर्ण रंग टच स्क्रीन |
| नियंत्रण सामग्री | अल्ट्रासोनिक छिड़काव, तरल पदार्थ आपूर्ति, हीटिंग, अल्ट्रासोनिक फैलाव और अन्य प्रणाली | अल्ट्रासोनिक छिड़काव, तरल पदार्थ आपूर्ति, हीटिंग, अल्ट्रासोनिक फैलाव और अन्य प्रणाली |
| तरल पदार्थ आपूर्ति विधि | सटीक इंजेक्शन पंप | सटीक इंजेक्शन पंप |
| अल्ट्रासोनिक फैलाव प्रणाली (वैकल्पिक) | 50 मिलीलीटर, 40K, जैविक ग्रेड नमूना | 20 मिलीलीटर या 50 मिलीलीटर, 40K, जैविक ग्रेड नमूना |
| अल्ट्रासोनिक फैलाव प्रणाली की नाममात्र शक्ति | 200W,10A | 100W |
लाभः
1विभिन्न सतहों के समोच्चों का समान रूप से कवर करना।
2उत्कृष्ट एकरूपता के साथ उच्च आयाम अनुपात वाले ग्रूव को कोटिंग करने में सक्षम।
3गैर-बंद करने वाला एटॉमाइजिंग स्प्रे।
4बहुत समान एकल माइक्रोन पतली परतों को जमा करने में सक्षम।
5दोहराई जाने वाली परिपक्व छिड़काव प्रक्रिया।
अर्धचालक प्रकाश प्रतिरोधी अल्ट्रासोनिक लिथोग्राफी कोटिंग सिस्टम
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| MOQ: | 1 इकाई |
| कीमत: | Negotation |
| standard packaging: | लकड़ी के मामले से पैक किया |
| payment method: | टी/टी, वेस्टर्न यूनियन |
| Supply Capacity: | प्रति माह 1000 यूनिट |
अर्धचालक प्रकाश प्रतिरोधी अल्ट्रासोनिक लिथोग्राफी कोटिंग सिस्टम
विवरण:
अल्ट्रासोनिक छिड़काव फोटोलिथोग्राफी वेफर प्रसंस्करण में फोटोरेसिस्ट कोटिंग के लिए एक सरल, किफायती और पुनः प्रयोज्य प्रक्रिया है।FUNSONIC के अर्धचालक photoresist अल्ट्रासोनिक लिथोग्राफी कोटिंग प्रणाली परिष्कृत स्तर प्रौद्योगिकी का उपयोग बारीकी से प्रवाह दर को नियंत्रित करने के लिए, कोटिंग गति, और जमाव की मात्रा। कम गति स्प्रे मोल्डिंग स्प्रे को सटीक और नियंत्रित पैटर्न के रूप में परिभाषित करती है ताकि ओवरस्प्रे से बचा जा सके और बहुत पतली और समान परतें पैदा हो सकें।
FUNSONIC की अर्धचालक photoresist अल्ट्रासोनिक लिथोग्राफी कोटिंग प्रणाली में अधिक समान कोटिंग्स जमा करने के फायदे हैं,विशेष रूप से उच्च आयाम अनुपात के ग्रूव और वी के आकार के ग्रूव संरचनाओं की साइडवॉल के शीर्ष के साथकेन्द्रापसारक घूर्णन से गुहा के तल पर बहुत अधिक प्रकाश प्रतिरोध जमा किए बिना, साइडवॉल के साथ समान कोटिंग जमा नहीं हो सकती है।
पैरामीटरः
| उत्पाद का प्रकार |
अल्ट्रासोनिक प्रेसिजन स्प्रे कोटिंग मशीन प्रयोगशाला डेस्कटॉप प्रकार FS310 |
बुद्धिमान अल्ट्रासोनिक परिशुद्धता कोटिंग मशीन डेस्कटॉप प्रकार FS620 |
| छिड़काव नोजल कार्य आवृत्ति | 20-200KHz | 20-200KHz (सामान्यतः 60100110120K का प्रयोग करें) |
| नोजल शक्ति | 1-15W | 1-15W |
| निरंतर छिड़काव मात्रा अधिकतम | 0०१-५० मिलीलीटर/मिनट | 0०१-५० मिलीलीटर/मिनट |
| प्रभावी छिड़काव चौड़ाई | 2-100 मिमी | 2-100 मिमी |
| स्प्रे की एकरूपता | ≥95% | ≥95% |
| समाधान रूपांतरण दर | ≥95% | ≥95% |
| सूखी फिल्म की मोटाई | 20nm-100μm | 20nm-100μm |
| समाधान चिपचिपापन | ≤30 सीपीएस | ≤30 सीपीएस |
| तापमान सीमा | 1-60°C | 1-60°C |
| परमाणुकृत कण (औसत मूल्य) | नोजल की आवृत्ति के आधार पर निर्धारित 10-45μm (डिस्टिल पानी) | नोजल की आवृत्ति के आधार पर निर्धारित 10-45μm (डिस्टिल पानी) |
| विचलन दबाव अधिकतम | ≤0.10MPA | ≤0.15MPA |
| इनपुट वोल्ट | 220V±10%/50-60Hz | 220V±10%/50-60Hz |
| अभ्यास मोड | X+Y दो अक्ष पूर्ण स्वचालित, Z-अक्ष मैनुअल समायोजन | XYZ तीन अक्ष, स्वतंत्र रूप से प्रोग्राम करने योग्य |
| नियंत्रण मोड | माइक्रो कंप्यूटर कार्ड, 7 इंच का टच स्क्रीन+बटन | FUNSONIC छिड़काव नियंत्रण प्रणाली, पीएलसी नियंत्रण, 13.3 इंच पूर्ण रंग टच स्क्रीन |
| नियंत्रण सामग्री | अल्ट्रासोनिक छिड़काव, तरल पदार्थ आपूर्ति, हीटिंग, अल्ट्रासोनिक फैलाव और अन्य प्रणाली | अल्ट्रासोनिक छिड़काव, तरल पदार्थ आपूर्ति, हीटिंग, अल्ट्रासोनिक फैलाव और अन्य प्रणाली |
| तरल पदार्थ आपूर्ति विधि | सटीक इंजेक्शन पंप | सटीक इंजेक्शन पंप |
| अल्ट्रासोनिक फैलाव प्रणाली (वैकल्पिक) | 50 मिलीलीटर, 40K, जैविक ग्रेड नमूना | 20 मिलीलीटर या 50 मिलीलीटर, 40K, जैविक ग्रेड नमूना |
| अल्ट्रासोनिक फैलाव प्रणाली की नाममात्र शक्ति | 200W,10A | 100W |
लाभः
1विभिन्न सतहों के समोच्चों का समान रूप से कवर करना।
2उत्कृष्ट एकरूपता के साथ उच्च आयाम अनुपात वाले ग्रूव को कोटिंग करने में सक्षम।
3गैर-बंद करने वाला एटॉमाइजिंग स्प्रे।
4बहुत समान एकल माइक्रोन पतली परतों को जमा करने में सक्षम।
5दोहराई जाने वाली परिपक्व छिड़काव प्रक्रिया।
अर्धचालक प्रकाश प्रतिरोधी अल्ट्रासोनिक लिथोग्राफी कोटिंग सिस्टम
